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本文標題："接觸式AFM電子顯微鏡儀器的優點有哪些"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-1-12 5:20:52

接觸式AFM電子顯微鏡儀器的優點有哪些

掃描探針顯微術

(Scanning Probe Microscopy, SPM)

? 材料制造尺寸已由微米、次微米，逐漸發展至奈米級精密處理，高解析表面分析技術為重要關鍵技術之一。

? 掃描探針顯微術(SPM)具有原子級表面形狀解析度，并可檢測多種奈米級表面特性如力學特性、電性、磁性、熱性等等。

? 優點為儀器體積小，樣品無需特殊處理，可在任何環境下進行測量。

SPM除了極佳的影像解析度外，它對試片表面高度之起伏非常敏感，所以亦常用在偵測表面起伏之剖面形貌、鍍層之表面粗糙度……等。

一般說來，試樣表面高低差若在10nm以內，則以SEM來檢測會因表面太過平滑而看不到影像，此種情況，可選用SPM來作檢測。AFM

的操作模式可分為三種:接觸式、非接觸式及輕敲式(TappingMode)。由于接觸式偵測的是探針與樣品間原子的排斥力，而排斥力

對距離非常敏感，所以接觸式AFM較容易獲得原子解析度．而其他兩種模式則相當困難

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