本文標(biāo)題："自適應(yīng)光學(xué)鏡頭的設(shè)計制造-光學(xué)分析顯微鏡"
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自適應(yīng)光學(xué)鏡頭的設(shè)計制造-光學(xué)分析顯微鏡
自適應(yīng)反射鏡三種常見的形式。結(jié)構(gòu)的特征在于利用強迫位移
作動器對運動進行控制，同時還使用了一系列力作動器。位移作動
器具有相對高的剛度，兇此可以作為支撐結(jié)構(gòu)，以及作為控制鏡片
剛體運動的一種高效率的方式。力作動器通常是一種低效率的應(yīng)用
方式，它可以在兩個點之間傳遞一個相等且反向的理想力對。為承
受自適應(yīng)面形控制過程中產(chǎn)生的作動力，這種構(gòu)型通常還需要使用
一個相對剛性的反作用結(jié)構(gòu)。從圖中還可以看到，力矩作動器是通
過一一個力作動器加上一個力矩臂來實現(xiàn)的。結(jié)構(gòu)的特征在于應(yīng)用
了一系列高效率的位移作動器。在自適應(yīng)面形控制以及組件承受載
荷的時候，位移作動器需要作用于一個剛性相對較大的反作用結(jié)構(gòu)
上。描述的結(jié)構(gòu)其特征在于使用了內(nèi)置作動器的鏡片，并且鏡片裝
配在位移作動器上。由于作動載荷在鏡片內(nèi)部發(fā)生作用，因而，這
種構(gòu)型消除了對反作用結(jié)構(gòu)的需求。不過，這種內(nèi)置作動器的實現(xiàn)
方式，
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