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本文標題："微結構體微加工微表面輪廓測量儀器廠家"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2017-6-12 22:16:13

相同幾何形狀的陣列，用作機械過濾裝置。該種微結構是利用LIGA

技術生產的。LIGA技術使用了X射線光刻法、電鍍和成型過程(第7

章介紹了該方法)。計算機上完成的結構設計通過電子束寫入器被

傳遞到掩模上。掩模的結構通過平行

LIGA過程的第一步是獲得一個微結構體。該結構體具備掩模的

橫向結構，高度由抗蝕劑的層厚決定。在后續步驟中，將被照射的

聚合層去除，代之以電鍍金屬。隨后在去除了非照射聚合層后，余

下的就是金屬結構模了。以該金屬模為模型，通過澆鑄或熱雕等過

程完成微結構的復制。盡管模型結構的制造成本較高，不過可以采

用多種材料批量生產的方法，從而使微結構體的生產變得非常經濟

。

除了上述兩種基本方法之外，還有很多方法也采用上述技術的

某些過程。這些方法在特定的應用中有其獨特的優勢。這里將引用

一個微機械生產的例子。這個微輪廓是在一個金屬平面上利用形狀

合適的金剛石刀具銑出的。通過加工形狀規則的結構和將微加工形

成的薄片正確地疊放，就可以較經濟地生成三維微結構體。這個生

產方法與前面提到的兩種技術不同。

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