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本文標題："微觀材料應用工業檢測立體檢測顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2016-7-15 1:13:12

微觀材料應用工業檢測立體檢測顯微鏡

單晶與半導體工藝

單晶與多晶材料的主要差別是在單晶材料中沒有晶界。在一些

材料應用的領域，沒有晶界是一種非常希望的微觀組織。例如，使

用單晶的鎳基合金可以改善其抗氧化性與耐蠕變的能力，從而提高

渦輪葉片的耐高溫性能，但這也可以用晶界的存在來增強，這在第

五章與第九章中已經做了解釋。在我們選擇諸如鉆石、紅寶石、藍

寶石等天然寶石時，對單晶的偏愛也是顯然后。然而，單晶的更多

的應用是在半導體工業中。

在半導體工業中需要單晶的

原因是因為缺陷會大大降低這些材料的電氣特性。所以半導體工業

不僅需要沒有晶界的單晶材料，而且要求材料的位錯、雜質原子，

以及其他點缺陷的濃度都要低。

硅單晶的生長與工藝，討論制備完整的

電路芯片的工藝步驟。這些工藝包括氧化、光刻、浸蝕、擴散、離

子注入、互連、裝配、以及包裝等。單晶的成長與工藝

半導體工業中所使用的硅晶體的大多數是用法制備的。

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