本文標(biāo)題："非球面表面紋理公差與球面的表面紋理計(jì)量顯微鏡"
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非球面表面紋理公差與球面的表面紋理計(jì)量顯微鏡
表面紋理
表面紋理的公差可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定標(biāo)注。光學(xué)元件所需要的拋
光質(zhì)量可以采用四個(gè)拋光等級中的一個(gè)等級進(jìn)行標(biāo)注，而拋光等級
由光學(xué)表面上所允許的最大麻點(diǎn)數(shù)量來定。這些麻點(diǎn)可以在指定距
離處采用探測器掃描探測獲取，例如采用具有適當(dāng)小直徑探頭的探
針進(jìn)行測量。
非球面的表面紋理公差與球面的表面紋理公差一樣。非球面元
件的參數(shù)轉(zhuǎn)換
目前，有關(guān)描述和表征非球面光學(xué)元件的信息是通過多種不同
的形式生成和發(fā)布的。對于不同測量儀器(例如干涉儀，輪廓儀)的
用戶界面、不同的加工設(shè)備(例如銑磨機(jī)、拋光機(jī))，在光學(xué)設(shè)計(jì)程
序中使用不同的數(shù)學(xué)公式，并獲得的不同的技術(shù)圖紙。圖紙中非球
面表面的參數(shù)可能可以直接用于一臺(tái)加工設(shè)備，而當(dāng)使用另一臺(tái)設(shè)
備加工時(shí)，則需要將一些參數(shù)進(jìn)行轉(zhuǎn)換。雖然一些公司可以實(shí)現(xiàn)非
球面參數(shù)數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換處理和校正，但是通常情況下，不同體系間的
數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換不但困難、費(fèi)時(shí)，而且產(chǎn)生一定的風(fēng)險(xiǎn)。
像差從物理學(xué)方面可以理解為點(diǎn)光源發(fā)出的光學(xué)波前的變形
。一點(diǎn)光源發(fā)出一球面波，通過光學(xué)系統(tǒng)的人瞳，當(dāng)穿過光學(xué)系統(tǒng)
時(shí)，受到孔徑衍射、設(shè)計(jì)誤差和制造誤差的影響而不可避免地發(fā)生
變形，這一變形的球面波前離開出瞳，在像平面上會(huì)形成一帶有像
差的模糊光斑。但是，由于衍射是光線作為信息載體的一種物理現(xiàn)
象，不可能消除，因此，不管在什么情況下，我們只能獲得帶有衍
射的圖像。另外，光學(xué)系統(tǒng)本身就是一低通濾波器，將代表高頻率
空間結(jié)構(gòu)的成分濾掉。
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