本文標題："質譜儀涂層裝置的制造加工實驗-機械和工藝涂層"
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質譜儀涂層裝置的制造加工實驗-機械和工藝涂層
大多數情況下，可通過前述的壓力計指示出來，其產生一個控制系統
的警報。然而涂層裝置的制造者通常利用特殊的裝置去檢測淀積室的密封狀態。
氦質譜儀泄漏的檢測在需要壓力密封的產品中檢測泄漏是一個非常靈敏的方法
。這種方法的操作是通過直接把氦氣通入泄漏的地方然后進入檢測
器，基于質譜儀的原理。此系統可檢測出非常小量的氦氣。對于涂層的應用，檢
漏儀由質譜儀管和固態電子控制面板組成，但是沒有真空泵系統。此儀器的操作
依靠被檢測的組成部分處于高真空狀態。質譜儀管與真空系統相連接。一個以上
的質譜儀管共享同一個控制面板，可以附上真空裝置系統的被檢測的不同的位置
以提高檢測效率。
溫度控制
真空涂層過程的效果和質量與溫度有很大的關系。物理、機械和工藝涂層特
性對淀積溫度非常敏感，因此，其大小通常作為涂層的規格被記錄。隨淀積溫度
的增加，對于同樣的涂層等級通?？商岣哂捕群蛣傂?，但另一方面，可降低內應
力和涂層的延展性。
進一步講，淀積溫度可引起基底的晶體轉化，例如，非控制的退火。因此溫
度是關鍵參數，必須在整個淀積周期內精密地跟蹤和調整。
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