本文標題："全像顯微技術可以實現準確量測試樣的三維結構 "

全像顯微技術可以實現準確量測試樣的三維結構

數位全像顯微系統重建微/納米元件樣本
三維結構之能力。這個所提出的光學系統利用一個物鏡(Objective Lens)放大物體
的波前，同時在物鏡后面引入一個補償透鏡(Offset Lens)并與前者形成共焦點架
構，借此實體地補償因物鏡所產生的二次式相位(Quadratic Phase)，即所謂的失
焦像差(Defocus Aberration)。我們利用Mach-Zehnder 干涉儀來實現任意步進相
位數位全像顯微系統。由全像重建所引起的零階和共軛干擾影像，將應用單次
曝光法及任意步進相位方法加以抑制。從數值重建物體的波前可得到相對的相
位分布，并利用Kreis 所提出的相位展開技術還原其原本的相位資訊。最后藉由
還原的物光相位，達到分析樣本三維結構的目的

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